BMBF-Verbundprojekt zu neuartiger Chipherstelltechnologie – Hauptmeilenstein erfolgreich absolviert

Ergebnisse werden eine neue Ära der Chip- fertigung einläuten. Deutsche Unternehmen technologisch weltweit führend bei Kernprozessen zur Herstellung integrierter Schaltkreise. Unter Konsortialführerschaft von Carl Zeiss fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ein umfangreiches Verbund- projekt rund um die so genannte EUV-Litho- graphie (Extreme Ultra Violet Lithography). Diese neuartige Technologie hat ein großes Potenzial zur weiteren Miniaturisierung von Mikrochips und w