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350 Nanometer: Russland baut erste eigene Lithografie-Systeme

Die ersten Lithografie-Systeme aus Russland eignen sich für 350-Nanometer-Chips. Das entspricht Technik aus den 1990er-Jahren.

https://www.heise.de/news/Chipherstellung-Russland-baut-erste-eigene-Lithografie-Systeme-10334504.html
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