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Imec erhält High-NA-EUV-System für 350 Millionen Euro
Europäische Forscher und Unternehmen bekommen Zugriff auf das modernste Lithografie-System der Welt. Das Imec weiht einen passenden Reinraum ein.
↗ https://www.heise.de/news/Chipforschung-Europas-Imec-bekommt-High-NA-EUV-System-11170288.html