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Für höheren Wafer
EUV-Belichter nutzen bereits beeindruckende Technik - und ASML macht sie noch beeindruckender. Damit sollen stündlich 330 Wafer belichtet werden.
↗ https://www.golem.de/news/fuer-hoeheren-wafer-durchsatz-asml-steigert-euv-lichtleistung-auf-1-000-w-2602-205797.html