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EXE5200B: Forschungszentrum Imec erhält neuesten High
Am Imec werden mit ASMLs modernstem Belichter Sub-2nm-Prozesse entwickelt. Der Twinscan EXE:5200B ist für die Serienfertigung ausgelegt.
↗ https://www.golem.de/news/exe5200b-forschungszentrum-imec-erhaelt-neuesten-high-na-euv-belichter-2603-206733.html