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Lace Lithography: 40 Millionen US

Ein norwegisches Start-up sieht in Strahlen metastabiler Atome die Zukunft der Halbleiterfertigung. Das komplexe Konzept könnte EUV beerben.

https://www.golem.de/news/lace-lithography-40-millionen-us-dollar-fuer-post-euv-lithografie-start-up-2603-206858.html
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